净化工程在一定空间范围内,将空气中的微粒子,有害空气,细菌等污染物排除,并将室内温度,洁净度,压力,气流速度与气流分布,噪音振动及照明,静电控制在某一需求范围内的工程学科。
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感,随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,净化工程所以对温度波动范围的要求越来越小,例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
湿度过高产生的问题更多,相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故,相对湿度在50%时易生锈,此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
一般情况下,手术室净化工程空气过滤器原则如下:。
1.正确确定过滤器特征,过滤器的特征主要净化车间是过滤效率,阻力,穿透率,容尘量,过滤风速及处理风量等,在条件容许的情况下,应尽可能选用高效,低阻,容尘量大,过滤风速适中,处理风量大。
2.根据室内要求的洁净净化标准,确定最末级的空气过滤器的效率。
3.正确测定室外空气的含尘量和尘粒特征,因为过滤器是将室外空气过滤净化后送入室内,所以室外空气的含尘量是一个很重要的数据,特别是在多级净化过滤处理,选择预过滤器时要将使用环境,备件费用,运行能耗,维护与供货等因素综合考虑后决定。
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